一种同腔制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点的方法及设备

本发明实施例公开了一种同腔制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点的方法及设备，涉及新能源技术领域，便于量子点的产业化和大规模应用。本发明包括：将样品基底放入反应腔体内，启动真空系统对反应腔体抽真空；向反应腔体输入?OH有机物气体作为?OH等离子气体源；启动激光加工头扫描样品基底的表面；启动激光加工头再次对样品基底的表面进行扫描；向反应腔体输入驱体气体，并启动激光加工头扫描样品基底的表面进行加热；向反应腔体输入O源前驱体，启动激光加工头加热样品基底的表面，使表面吸附的源前驱体与输入的O源前驱体发生化学反应，生成量子点阵列。本发明适用于制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点。