提高GaAs光电阴极稳定性的Cs/NF3激活方法

本发明涉及提高GaAs光电阴极稳定性的Cs/NF3激活方法，即在超高真空激活系统中，采用Cs源和NF3源共同进行GaAs光电阴极激活。包括如下步骤：1、对GaAs光电阴极进行脱脂清洗；2、对GaAs光电阴极进行化学刻蚀；3、在超高真空系统中对GaAs光电阴极进行高温净化；4、对净化后的GaAs光电阴极在红光波段的单色光光照下进行Cs/NF3激活。通过上述方式，本发明可以得到光谱响应更高、稳定性更好的GaAs光电阴极。