垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置

本实用新型公开了一种垂直灵敏的磁传感器闭环式芯上在位反馈装置，包括硅基衬底、通量引导器、四个相同的磁敏电阻以及信号反馈线圈、运算放大器和功率放大器，本实用新型通过在推拉式垂直灵敏的磁传感器芯片设置芯上在位信号反馈线圈，当通有反馈电流时信号反馈线圈上方的两对磁敏电阻敏感轴方向上产生大小相等方向相反的磁场信号，分别抵消原信号磁场，而形成闭环式反馈结构，该芯上在位反馈装置设计能够有效改善传感器输出线性度，提高测量精度，降低功耗，具有重要的应用价值。