一种微纳器件材料界面热疲劳性能模拟测试方法

本发明公开了一种微纳器件材料界面热疲劳性能模拟测试方法，先建立材料界面模型，然后对材料界面进行热流及热疲劳加载模拟，再利用MD模拟方法对材料界面进行拉伸断裂模拟和剪切断裂模拟，从而实现对微纳器件材料界面热疲劳性能模拟测试。本发明基于分子动力学，实现材料界面热疲劳性能模拟及测试方法，从而对不同材料界面组合的结合力进行测试。