一种高强度多层膜系光电玻璃及其制备方法

本发明公开了一种高强度多层膜系光电玻璃及制备方法，多层膜系光电玻璃包括玻璃基片，在玻璃基片上依次设有二氧化硅层、氧化铝薄膜层和AZO薄膜层；制备方法按下述步骤进行：①对玻璃基片进行预清洗；②重复3-4遍步骤①，再在真空干燥箱中烘干；③在真空条件下对玻璃基片进行离子束溅射清洗；④在氩气作为工作气体的环境下，采用磁控溅射的方法将溅射靶材溅射到玻璃基片表面形成衬体，溅射靶材是二氧化硅、氧化铝和AZO，衬体是二氧化硅层、氧化铝薄膜层和AZO薄膜层。本发明在氧化铝薄膜层和AZO薄膜层的共同作用下，实现对入射太阳光的反射、折射和散射，从而提高AZO薄膜的光电性能。