一种锂电池用SiCO-碳纳米管复合薄膜电极

本发明公开了一种锂电池用SiCO‑碳纳米管复合薄膜电极，其特征在于：包括单晶硅基板（1），单晶硅基板（1）上依次设有TiN阻挡层（2）、Cu薄膜层（3）、CuO薄膜层（4）、SiCO薄膜层A（5）、Ni催化层（6）、碳纳米管层（7）和SiCO薄膜层B（8）。本发明不仅可以有效的提高电极的循环稳定性，而且单层膜厚度可以大大降低，又可以获得较大的薄膜体系厚度，从而改善材料在高倍率充放电时的电化学性能。