基于拉锥光纤平板波导耦合的电场测量传感器封装结构
发布时间: 2022-04-06
来源: 试点城市(园区)
基本信息
针对目前发展迅速的基于拉锥光纤平板波导耦合方式的电场测量传感器,本发明提出了一种基于拉锥光纤平板波导耦合的电场测量传感器封装结构。包括衬底,衬底上具有V型槽,V型槽的表面涂有掩蔽膜;拉锥光纤放置于V型槽中,V型槽上设置有平板波导。其中,衬底材料选择为单晶硅。本发明能够将光纤固定并且保持光纤拉锥区和平板波导的间距固定,能够有效的解决波导和光纤模场的匹配性以及耦合的准直性都带有很大的随机性的问题。
评价单位:- (-) 评价时间:2023-07-27
李佳豪
重庆市菁英科技经济融合发展中心
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