基于PERC电池的激光掺杂选择性发射极工艺研究
发布时间: 2022-04-06
来源: 试点城市(园区)
基本信息
该项目通过理论分析与实验的方式,在热扩散轻掺杂方块电阻的均匀性、正电极印刷与重掺杂区的精准对位和扩散轻掺杂的同时保证PSG层磷源充足三个生产技术环节取得了重要的突破和研究成果;掌握了激光掺杂选择性发射极工艺关键技术,通过实验得到各工序工艺控制点要求范围,掌握了适合现有PERC高效电池生产的激光掺杂选择性发射极工艺,形成一套基于PERC电池的激光掺杂选择性发射极工艺方案。