CVD镀膜技术 _科创中国

CVD镀膜技术

发布时间: 2022-03-31

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：新技术

行业领域：

其他

成果介绍

核心技术内容包括镀膜工艺的研发和镀膜设备的研制，技术成熟度高、产品质量稳定、适用范围广、市场需求大、安全性能高，且价格低廉、性能优良，客户普遍反映良好，核心技术已达到国际先进、国内领先的水平，已具备产业化的条件。

1)能形成多种金属、非金属和化合物薄膜；2)组分易于控制，易获得理想化学计量比，薄膜纯度高；3)成膜速度快、工效高（沉积速率＞＞PVD、单炉处理批量大）；4)沉积温度高、薄膜致密、结晶完整、表面平滑、内部残余应力低；5)沉积绕射性好，可在复杂不规则表面（深孔、大台阶）沉积；

成果亮点

团队介绍

成果资料