并行放电多电极电火花线切割机床

一、项目简介

在国家自然科学基金、江苏省自然科学基金的多年持续资助下，开展了硅、锗等半导

体材料的电火花多线切割研究，提出了往复渐进式自适应进给控制方法，在轨迹重叠反向

插补、多电极运丝机构设计、模糊自适应控制、多电极丝同步均衡放电控制等方面取得了

技术突破，开发了专用伺服控制系统，组建了高性能电火花线切割运动控制实验平台，并

成功研制了一台国内首创的并行放电多电极电火花线切割机床，取得了加工效率随电极丝

数量增加而倍增的效果。

二、创新点以及主要技术指标

主要技术指标：电极丝间距≤600μm，并行电极丝数量≥3，总厚度偏差≤50μm。

三、知识产权及获奖

拥有相关授权发明专利 2 项。

四、应用领域及市场前景

应用前景：用于太阳能或集成电路制造的硅锭等半导体材料的批量切割，具有切损小、

成本低、效率高、翘曲小、绿色环保等优点，市场需求巨大。由于半导体材料切割成本占

到太阳能电池板总的制造成本的 2/3 之多，因此经济效益十分显著。

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