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纳微米超硬物理气相沉积涂层系统及工艺 技术开发

发布时间: 2021-12-31

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 著作权,新技术
行业领域：
新材料产业,制造业
成果介绍

与国外公司合作开发物理气相沉积涂层设备，该设备包括耐高压真空炉腔、转炉架、真空系统、阴极电弧系统、控制系统、高温轴承等，同时采用开发的先进的真空磁控阴极电弧技术，将具有超高硬度、更强结合力、均匀一致的纳微米超硬薄膜运用于刀具、各类模具以及机械零部件表面，寿命提高达到 3-10 倍以上。研究制备的各类 PVD 涂层包括高硅涂层、高铝涂层（氮铝化钛）、Cr-Al 涂层（AlCrN）、TiCN（氮碳化钛）涂层、TiN（氮化钛）涂层、类金刚石（DLC）涂层等。涂层具有光滑、致密、硬度高、耐高温、抗磨损、防氧化等特点，能够进行批量和工业化生产应用。

成果亮点
团队介绍
成果资料