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TDR-62CP型单晶炉

发布时间: 2021-12-30

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 合作开发
成果类型： 新技术
行业领域：
新兴行业
成果介绍

TDR-62CP型单晶炉，是在惰性气体环境中，以石墨电阻加热器将硅材料熔化，用软轴直拉法生长无位错单晶的设备。它可以生长大规模集成电路所需要的高质量单晶。这种单晶炉能够使用12”的石英坩埚，投料20kg，拉制4"或5”的单晶，其最大裕度可允许使用14”的石英坩埚，投料30kg拉制6"的单晶。采用计算机控制等径生长晶体。

成果亮点
团队介绍
成果资料