可扩展磁控溅射镀膜连续线装置 _科创中国

可扩展磁控溅射镀膜连续线装置

发布时间: 2021-11-16

来源: 科技服务团

基本信息

合作方式：技术许可

成果类型：实用新型专利

行业领域：

高端产业

成果介绍

将“可扩展磁控溅射镀膜连续线装置”技术成果应用于精密光学元件研究应用领域，在最新研发的产品“新型双面多功能纳米薄膜磁控溅射沉积设备”上起了重要的作用。

成果亮点

团队介绍

成果资料