科创中国

中科院上海微系统所研究团队从2010年起就一直致力于高质量石墨烯电子材料制备方面的研究。团队花10年工夫，掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术，实现了4—8英寸单晶的小批量生产。在国家科技重大专项、上海市科委项目支持下，团队解决了用籽晶制备单晶的技术难题，让一个几百微米大小的石墨烯籽晶在二维平面上生长。经过约2.5小时，籽晶能生长成1.5英寸大小的石墨烯单晶，生长速度和单晶尺寸都创造了世界纪录。经过后期设计优化，团队已能制备8英寸石墨烯单晶晶圆。团队还在国际上首次实现了半导体锗基石墨烯CVD(化学气相沉积）制备，研制出4英寸锗基石墨烯晶圆。团队在高品质石墨烯电子材料制备方面取得多项突破，于2020年4月获得上海市自然科学奖一等奖。此外，团队还在石墨烯材料制备与器件应用领域申请100余项专利，授权70余项，其中国际专利9项。