一种场发射和场电离测量装置

本实用新型公开了一种场发射和场电离测量装置，由真空腔、电极部分、低压电源、高压电源、数字电流表、数模转换器和计算机系统构成，电极部分由顺次垂直安装在真空腔中的发射极、栅极和收集极构成，三者之间分别用绝缘材料隔开；栅极、低压电源、数字电流表、发射极依次相连，收集极、高压电源、数字电流表、发射极依次相连，数字电流表与计算机系统相连，低压电源、高压电源分别通过数模转换器与计算机系统相连。本实用新型装置采用计算机控制、在同一真空腔内实现了场发射和场电离过程的自动扫描测试，方便快捷，且提高了测试精度。