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一种硅锗低温外延方法

发布时间: 2021-05-20

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术咨询
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料产业,制造业
成果介绍

一种硅锗低温外延方法

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