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大长径比纳米探针可控制备技术及应用

发布时间: 2021-01-19

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术服务
成果类型： 新技术
行业领域：
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍

        提出研究了大长径比纳米探针可控制备方法。通过简单控制阈值电压以控制尖端生长液的量，确保尖端生长单根碳纳米管；通过将亲水处理后的硅探针放置于一定分散浓度的一维纳米材料溶液中进行组装，得到不同长径比的纳米探针。通过两种制备技术均可以得到曲率半径＜10nm，长径比＞70:1的碳纳米管探针。所制备的纳米探针具有刚度好和性能稳定等优势，可以代替原子力探针直接用于原子力显微镜，实现极小纳米特征尺度和大深宽比微纳结构的测量。与国内外相关技术相比，该制备技术更简单，易于实现，制备得到的探针力学性能更稳定。研制的纳米探针可以用于半导体芯片中大深宽比结构测量等，已经在相关领域多家单位进行了应用。

成果亮点
团队介绍
成果资料