聚焦离子束电子显微镜(FIB) _科创中国

聚焦离子束电子显微镜(FIB)

发布时间: 2021-01-04

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式：技术服务

成果类型：发明专利

行业领域：

高端产业

成果介绍

主要指标电子束分辨率：1.0nm(30kV)离子束分辨率:2.5nm(30kV,1pA)电子束流:4pA-100nA离子束流:1pA-50nA主要用途焊点失效横截面故障分析材料横截面结构观察定点切割截面样品器件线路修复

成果亮点

团队介绍

成果资料