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固态射频电源

发布时间: 2021-01-01

基本信息

合作方式： 技术咨询
成果类型： 新技术
行业领域：
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍

固态射频电源，输出频率为***，功率范围50W-5kW。应用于射频溅射，PECVD化学气相沉积，反应离子刻蚀及表面处理等设备中，是半导体、镀膜、射频感应加热、等离子体清洗和医疗美容等行业设备中的核心模块。

成果亮点
团队介绍
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