多光谱滤光片 _科创中国

多光谱滤光片将不同光谱范围的带通滤光片集成在一片基片上，滤光片的不同区域透过不同谱段的光，每一个通道对应一种颜色，以达到将光按区域分开的目的。多光谱滤光片各个区域一般都很窄，宽度通常在几百微米到几毫米之间，但是长度会达到几十毫米以上。为保证各区域的位置精度，目前采用光刻技术与镀膜相结合的方式制作多光谱滤光片。多光谱滤光片是图像传感器的窗口，离像面非常近，因此对滤光片的基片材料、面形精度、光谱特性、表面质量、膜层质量等方面都要求极高。