一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法

本发明提供一种工作在软X射线波段的并联平场光栅及其设计方法，将两种不同的平场光栅G1和G2做在同一基底上，形成一个整体的并联平场光栅。该光栅工作在掠入射条件下，适用于软X射线波段。根据凹面光栅的像差理论，优化G1和G2的工作参数（入射距离、入射角度、成像位置），使其完全相同，因此二者可以同时工作。并联平场光栅的工作波段是二者之和，可以有效的扩展光栅的工作波段。并联平场光栅解决了平场光栅工作波段较窄的问题，为同时测量软X射线较宽光谱提供了一种有效技术。