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本发明公开了一种VOCs废气处理设备,属于化工废气处理设备技术领域，为解决现有的VOCs废气处理设备处理效率低、安全性差、结构复杂等问题而设计。本发明提供的VOCs废气处理设备包括箱体、在箱体内分别设置的换热器、预加热炉、反应炉、水冷器、缓冲罐以及真空泵，其中，换热器位于箱体内的下方；预加热炉用于为VOCs废气加热；反应炉位于预加热炉的下方，反应炉内设有催化氧化组件，用于处理VOCs废气；水冷器用于为处理后的废气降温；真空泵用于提供动力源。本发明的VOCs废气处理设备处理效率更高、安全性更好、经济更好、结构简单、维护方便、使用成本较低。