科创中国

2024年4月9日-11日，2024九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会在中国光谷科技会展中心成功举办。开幕式当天，9位国内外院士、300多名行业领军人及800多家企业代表齐聚一堂，共话行业前沿论题及第三代半导体技术的应用与发展。超万平展会面积吸引了来自10多个国家的200多家企业参展，覆盖半导体材料、设备、检测、设计、制造及封测、终端应用等全产业链及科研机构与孵化机构平台。上海工研院携硅光平台工艺能力首次精彩亮相，与同行业专家交流碰撞，畅享最新科技成果。

大会现场

上海工研院展位

       在“光电子芯片设计技术研讨会暨LUCEDA2024全球用户大会”论坛环节，上海工研院硅光平台总监蔡艳博士就上海工研院硅基光电子平台关键工艺与集成技术发表了演讲。她表示凭借集成、性能和成本优势，硅基光电子技术迅速在光通信与数通领域形成产品竞争力，已经进入比拼量产工艺阶段。上海工研院硅光平台聚焦硅光关键工艺与集成技术的开发，支持光收发、光计算、光传感等多种硅光功能芯片的前沿研究，产品预研和小批量生产流片。工研院硅光平台具备90nm高精度光刻，晶体外延、介质薄膜生长、干法及湿法刻蚀、掺杂、金属互连和在线工艺检测等成套关键工艺能力，并针对不同应用场景，实现了220nm SOI、1.5~3μm SOI、SiN等多套集成工艺开发。2023年平台发布了基于90nm 工艺节点的 SOI PDK3.0，核心器件库性能达到国际主流水平。

上海工研院硅光平台总监蔡艳博士

在全球范围内，光通信技术的崛起已成为信息通信领域的重要趋势，它正以前所未有的方式，彻底改变着我们的生活方式和工作模式。作为一家新型研发机构，上海工研院将继续致力于光通信技术的研究和创新，我们的硅光平台可研制集芯片、设计元器件库、开发于一体的集成工艺，平台基于新技术的拓展，可以为汽车产业、激光雷达、生物医药等方面提供支持。我们正紧锣密鼓地与各方紧密合作，不断激发创新潜能，提升核心竞争力，为产业的繁荣和进步贡献我们的力量。

上海工研院硅光平台

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关于上海微技术工业研究院：上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科学技术委员会、嘉定区政府和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立，是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台，为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。SITRI在上海联和投资有限公司服务国家战略、做科创发展先行者排头兵战略使命的指导下，依托中国科学院上海微系统所“三位一体”创新架构模式建立，通过上海微系统所技术力量的支撑以及上海新微科技集团投资运营模式的支持，与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。

• SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。

• 截至目前，SITRI已累计申请专利877项，发明专利697项，其中PCT（国际专利）专利56项。

• SITRI立足上海、面向长三角、辐射全国，已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。

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