科创中国

全球三大传感器展之一！

中国（上海）国际传感器技术与应用展览会（SENSOR CHINA）作为国内传感行业扎根时间最久、规格最高、影响力最大的传感产业标杆展会，多年来深度联接传感上下游企业，持续深耕，积极推动产学研高效互动，今年已经是SENSOR CHINA传感展走过的第八个年头。国内传感创新技术层出不穷，行业变化日新月异，SENSOR CHINA一路伴随了整个行业的成长壮大，已成为国内智能感知领域旗舰展，每年展会发布的新技术、新产品都有着行业风向标的引领作用。阔别两年，今年 SENSOR CHINA将于9月13-15日在上海跨国采购会展中心华丽回归！本届展会扩大规模至30000㎡，汇聚400+家专业展商，同期举办20+场产业活动，以压力传感、气体传感、磁传感等主流传感技术展开技术研讨，以能源、环境监测、汽车、物联网、智能制造等热门应用场景为主题，汇聚500+行业领袖、技术大咖、科研学者展开行业趋势大讨论，分享最先进的产业案例，前沿技术解决方案，共谋行业发展新格局！

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展会诚邀

上海工研院应邀参加2023 SENSOR CHINA，欢迎大家来展会现场交流。8吋线厂长马清杰先生还将在9月13日的“MEMS传感器创新技术与应用”论坛上发表主题为《上海工研院压电MEMS工艺平台及应用》的演讲。我们诚挚地邀请您参与盛会，莅临上海工研院1号馆D017展台并倾听演讲！现场关注公众号，有精美小礼品赠送哦！

演讲摘要

上海工研院拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、压电、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。为了支持创新、创业团队开展压电MEMS技术开发，上海工研院建立了包括氮化铝薄膜沉积、刻蚀、厚度精修和膜厚量测等全部设备、工艺能力。开发了包括水听器、麦克风、超声测距、超声流速等MEMS传感器及FBAR滤波器在内的多种器件及成套工艺，并与行业上下游建立了广泛联系。迄今已经服务包含行业龙头、创业公司、高校科研院所等20余家客户。未来氮化铝平台将充分发挥上海工研院中试平台优势，不断深化底层工艺能力建设，更好地服务产业、满足国家需求。

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关于上海微技术工业研究院（SITRI）：上海微技术工业研究院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立，是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台，为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。目前，SITRI已与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系，实现创新成果的高效率产业化，加速“超越摩尔”产业生态系统建立。

• SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”（More than Moore）研发中试线，提供MEMS、硅光、压电、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术，为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务，实现从研发到小批量生产无缝对接。

• 截至目前，上海工研院已累计申请专利824项，发明专利655项，其中PCT（国际专利）专利54项。

• SITRI立足上海、辐射长三角、面向全国，已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。

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文章来源：“上海微技术工研院”公众号文章