点赞

“科创中国”系列技术路演——非硅基微纳传感器相关技术及应用

发布时间: 2022-11-03

26
1283

“科创中国”启迪国际技术转移专业科技服务团倾力打造“创新会客室”线上系列活动,邀请高校院所知名专家和科技创新企业负责人参加,通过专业访谈的形式介绍技术的前沿发展水平,展示优秀的产品创新成果,总结创新企业的成功经验,对市场机会和创新机会进行探讨,对未来产业的发展作出预判。


9月22日,本期邀请到了上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系教授、博士生导师——杨卓青教授带来以“非硅基微纳传感器相关技术及应用”为主题的分享。


微机电系统技术(MEMS)作为与集成电路制造相关的新型技术,因其具有微小型化、轻量化、智能化和批量化集成制造等优势,近年来已在航空航天、汽车传感、物联网、人工智能、手机、机器人等领域显示出巨大的应用前景。


本期将主要介绍各项非硅MEMS集成制造技术,以及基于相关技术研发的多种典型传感器件,如MEMS惯性开关器件、多功能封装转接板、微通道散热器、可介入/植入超细柔性传感器、微型氢气传感器、微型能量收集器、AR/VR光波导、微流控器件以及MEMS温度传感器等。


(图文来源:启迪国际技术转移有限公司)

展开
收起