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制造业,专用设备制造业

本发明提供了一种多晶硅生产装置，包括三氯氢硅合成炉、三氯氢硅还原炉、四氯化硅氢化炉、三氯氢硅合成尾气回收装置和三氯氢硅还原尾气回收装置，所述四氯化硅氢化炉的尾气排出口与所述三氯氢硅合成炉的进料口连接，三氯氢硅还原尾气回收装置的进气口与三氯氢硅还原炉的出气口连接。本发明将四氯化硅氢化炉的尾气排出口与三氯氢硅合成炉的进料口连接，使四氯化硅氢化反应产生的尾气直接进入三氯氢硅合成炉，使得三氯氢硅的生成率高，多晶硅产品纯度较高，避免排出大量的杂质氯硅烷，节省了原材料，并省去了膜压机、液氯气化、氯化氢合成装置，整个生产工艺流程为四氯化硅氢化与三氯氢硅还原形成的物料闭环循环，没有废料外排，有利于环保。

[0010]本发明解决的问题在于提供一种多晶硅生产装置，还提供了使用该多晶硅生产装置生产多晶硅的工艺，使用该装置和工艺获得的多晶硅产品纯度高，质量更加稳定。 [0011]为了解决上述技术问题，本发明的技术方案为： [0012]一种多晶硅生产装置，包括三氯氢硅合成炉、三氯氢硅还原炉、四氯化硅氢化炉、三氯氢硅合成尾气回收装置和三氯氢硅还原尾气回收装置，所述四氯化硅氢化炉的尾气排出口与所述三氯氢硅合成炉的进料口连接，三氯氢硅还原尾气回收装置的进气口与三氯氢硅还原炉的出气口连接。 [0013]作为优选，所述三氯氢硅合成尾气回收装置的出气口处连接气体压缩机，气体压缩机的出气口与四氯化硅氢化炉的进料口连接。 [0014]作为优选，所述气体压缩机为氢压机。 [0015]一种使用所述多晶硅生产装置生产多晶硅的工艺，包括： [0016]先进行四氯化硅氢化工序； [0017]将四氯化硅氢化产生的尾气通入三氯氢硅合成工序； [0018]三氯氢硅合成产生的尾气进行回收，所产合成料经过精馏提纯后使得到的高纯三氯氢硅进入三氯氢硅还原工序。

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