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本发明提供一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，包括：使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCl、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物粉尘；加热所述氯硅烷吸收液到90℃～150℃；分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。本发明还提供了一种三氯氢硅合成尾气的处理装置，包括：加热装置，所述加热装置包括带有加热夹套的壳体，所述壳体上设置有进料口、气体出料口和固体出料口。本发明提供的三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置回收湿法处理后氯硅烷吸收液中的HCl、SiHCl3、SiCl4、H2、硅粉尘和高沸物，节约了原料，降低了生产成本。

[0010]本发明解决的技术问题在于，提供一种三氯氢硅合成尾气的处理方法及装置，回收湿法处理后氯硅烷吸收液中的氯化氢、氯硅烷、氢气及固体硅粉尘和高沸物粉尘，节约了原料，降低了生产成本。 [0011]为了解决以上技术问题，本发明提供一种三氯氢硅合成尾气的处理方法，包括： [0012]使用氯硅烷吸收制备三氯氢硅产生的合成尾气得到氯硅烷吸收液，所述合成尾气包括HCl、SiHCl、SiCl、H、硅粉尘和高沸物粉尘； [0013]加热所述氯硅烷吸收液到90℃～150℃； [0014]分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物。 [0015]优选的，使用蒸汽加热所述氯硅烷吸收液。 [0016]优选的，所述蒸汽的温度为100℃～200℃。 [0017]优选的，所述分别回收加热所述氯硅烷吸收液得到的气体混合物和固体混合物包括： [0018]将所述气体混合物过滤，所述过滤后的气体混合物通入 TCS尾气回收装置进行回收其中的氯化氢、氯硅烷、氢气；

新疆大全新能源股份有限公司自成立以来,紧紧围绕国家新能源战略规划,依托持续的研发投入和技术创新,结合低成本能源优势以及地处硅产业基地集群优势,一直专注于高纯多晶硅的研发、生产和销售。公司是多晶硅行业主要的市场参与者之一。公司是“技术企业”、“国家技术创新示范企业”、“智能光伏试点示范企业”,建设有“光伏硅材料开发技术国家地方联合工程实验室”、“兵团光伏硅材料制造与应用工程技术研究中心”、“新疆兵团光伏硅材料工程实验室”、“自治区级企业技术中心”,入选“2018年智能制造试点示范项目名单”、“第一批绿色制造示范”名单,是符合《光伏制造行业规范条件》企业。