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本申请公开了一种石英坩埚无损检测装置，包括光源、镇流触发器和盖板，其中，所述光源与所述镇流触发器相连接；所述盖板的形状与石英坩埚的形状相匹配，所述盖板的面积大于或等于所述石英坩埚的开口的面积；所述光源和所述镇流触发器设置于所述盖板的中心部，且所述镇流触发器设置于所述盖板的上表面以上，所述光源设置于所述盖板的下表面以下。利用该装置对石英坩埚进行内部结构缺陷检测时，避免了涂抹显影液等化学试剂带来的杂质污染和效率低下的问题，还能准确的发现石英坩埚中的内部结构缺陷，因此能够使得石英坩埚的检测快速、准确且无污染。

[0003]为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种石英坩埚无损检测装置，能够使得石英坩埚的检测快速、准确且无损。 [0004]本实用新型提供的一种石英坩埚无损检测装置，包括光源、镇流触发器和盖板，其中， [0005]所述光源与所述镇流触发器相连接； [0006]所述盖板的形状与石英坩埚的形状相匹配，所述盖板的面积大于或等于所述石英坩埚的开口的面积； [0007]所述光源和所述镇流触发器设置于所述盖板的中心部，且所述镇流触发器设置于所述盖板的上表面以上，所述光源设置于所述盖板的下表面以下。 [0008]优选的，在上述装置中，所述光源为金卤灯。 [0009]优选的，在上述装置中，所述光源的波长为577纳米至597纳米。 [0010]优选的，在上述装置中，所述光源的功率为250瓦。 [0011]优选的，在上述装置中，所述光源的色温为4000开尔文。 [0012]优选的，在上述装置中，所述光源的发光效率为90流明/瓦。

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