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本实用新型关于一种氢化炉，涉及多晶硅生产领域，解决的技术问题是提高氢化炉抗蚀隔热性能，主要采取的技术方案：炉体及位于炉体底座上的发电电极，发热机构，包括发热体以及石墨底座；绝缘防护结构，包括锥管、两端开口的筒体以及中心具有通孔的氮化硅盖板；锥管、石墨底座依次设置在发电电极上，筒体套设在石墨底座上，氮化硅盖板盖设于筒体的顶部，发热体通过石墨底座与发电电极电连接。氮化硅盖板、筒体以及锥管组成绝缘防护结构，保护炉内电器连接件，当氢化炉工作时，由于氮化硅材料耐高温，耐压，抗腐蚀性好，能够减少由于炉内气流冲刷及高温灼烧造成的缺损，延长筒体和锥管的使用寿命，有效防止粉尘物进入到锥管中，避免氢化炉停车。

[0004]本实用新型的主要目的在于，提供一种新型结构的氢化炉，所要解决的技术问题是提高氢化炉抗蚀隔热性能，从而更加适于实用。 [0005]本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的，依据本实用新型提出的一种氢化炉，其包括： [0006]炉体； [0007]位于所述炉体底座上的发电电极； [0008]发热机构，包括发热体以及石墨底座； [0009]绝缘防护结构，包括锥管、两端开口的筒体以及中心具有通孔的氮化硅盖板； [0010]所述锥管、所述石墨底座依次设置在所述发电电极上，所述筒体套设在所述石墨底座上，所述氮化硅盖板盖设于所述筒体的顶部，所述发热体 穿过所述氮化硅盖板的通孔与所述石墨底座连接，并通过所述石墨底座与所述发电电极电连接。 [0011]本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。 [0012]优选的，前述的氢化炉，其中所述的氮化硅盖板的外围轮廓尺寸大于所述筒体的径向外轮廓尺寸。

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