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本实用新型涉及硅芯生产技术领域，具体涉及一种用于防止硅芯氧化的加热装置。本实用新型的主要技术方案为：一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括:工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料；支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料；加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通；加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热；风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。采用本实用新型可以防止硅芯氧化，提升硅芯质量。

[0003]有鉴于此，本实用新型提供一种用于防止硅芯氧化的加热装置，主要目的在于防止硅芯氧化，提升硅芯质量。 [0004]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0005]本实用新型的实施例提供一种用于防止硅芯氧化的加热装置，包括: [0006]工作箱，为具有开口的容器；所述工作箱的顶部具有排气孔，底部具有进气孔；所述工作箱为聚四氟乙烯材料； [0007]支架，设置在所述工作箱内，用于支撑硅芯；所述支架为聚四氟乙烯材料； [0008]加热腔，设置在所述工作箱的底部，通过所述进气孔与所述工作箱连通； [0009]加热组件，设置在所述加热腔中，用于供热； [0010]风机，所述风机的出风口与所述加热腔连通，使气流在所述加热腔加热后，再通过所述进气孔流入所述工作箱，用于给所述硅芯加热。 [0011]进一步地，所述加热组件上设有防护机构，用于防止所述加热组件爆炸影响 硅芯。 [0012]进一步地，所述工作箱的顶部设有悬挂机构，用于悬吊所述工作箱。 [0013]进一步地，所述工作箱上设置有密封板，用于密封所述工作箱的开口；

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