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基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备

发布时间: 2023-12-20

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 实用新型专利
行业领域:
制造业,专用设备制造业
成果介绍
本发明公开了基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备,属于多晶硅生产技术领域,解决了参与还原反应三氯氢硅的纯度低,影响三氯氢硅的一次转化率并导致多晶硅的生产成本高的问题。本发明的主要技术方案为:一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,包括:步骤1,三氯氢硅还原沉积得到多晶硅,排出尾气;步骤2,尾气经多级冷凝得到不凝气和冷凝液,不凝气进入吸收塔,吸收塔吸收不凝气中的HCL并流出氯硅烷富液;冷凝液与氯硅烷富液混合后进入解析塔;步骤3,解析塔流出的氯硅烷贫液至少一部分发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅的质量百分含量降低;步骤4,反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔;精馏塔产物进入还原炉。
成果亮点
[0006]有鉴于此,本发明实施例提供一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法及多晶硅生产设备,主要目的是解决参与还原反应三氯氢硅的纯度低,进而影响三氯氢硅的一次转化率,导致多晶硅的生产成本高的问题。 [0007]为了解决上述技术问题,本发明采用了如下技术方案: [0008]一方面,本发明实施例提供了一种基于改良西门子法的多晶硅生产方法,包括以下步骤: [0009]步骤1,三氯氢硅在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅,还原炉排出尾气; [0010]步骤2,步骤1的尾气经多级冷凝得到不凝气和冷凝液,不凝气进入吸收塔,吸收塔吸收不凝气中的HCL并流出氯硅烷富液;冷凝液与氯硅烷富液混合后进入解析塔; [0011]步骤3,解析塔流出的氯硅烷贫液分为两部分:第一部分氯硅烷贫液进入吸收塔作为吸收剂,第二部分氯硅烷贫液进入反歧化反应器发生反歧化反应,使氯硅烷贫液中的二氯二氢硅的质量百分含量降低; [0012]步骤4,反应后的氯硅烷贫液进入精馏塔;三氯氢硅合成器输出的产物进入精馏塔;精馏塔流出的三氯氢硅和二氯二氢硅进入还原炉。
团队介绍
新疆大全新能源股份有限公司自成立以来,紧紧围绕国家新能源战略规划,依托持续的研发投入和技术创新,结合低成本能源优势以及地处硅产业基地集群优势,一直专注于高纯多晶硅的研发、生产和销售。公司是多晶硅行业主要的市场参与者之一。公司是“技术企业”、“国家技术创新示范企业”、“智能光伏试点示范企业”,建设有“光伏硅材料开发技术国家地方联合工程实验室”、“兵团光伏硅材料制造与应用工程技术研究中心”、“新疆兵团光伏硅材料工程实验室”、“自治区级企业技术中心”,入选“2018年智能制造试点示范项目名单”、“第一批绿色制造示范”名单,是符合《光伏制造行业规范条件》企业。
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