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本实用新型涉及硅化工技术领域，具体涉及一种三氯氢硅合成炉气体导流装置。主要技术方案为：一种三氯氢硅合成炉气体导流装置，包括:旋流机构；所述旋流机构为圆形；所述旋流机构包括多个扇形构件；多个所述扇形构件沿顺时针或逆时针方向依次设置；相邻的所述扇形构件之间固定连接；所述扇形构件包括：多个导流板一；所述导流板一相互平行地间隔设置，将所述扇形构件分隔成多个相互平行的倾斜气流通道；所述导流板一沿所述扇形构件的径向设置。采用本实用新型能够改善氯化氢气体在合成炉中的分布，增加氯化氢和硅粉的反应时间，改善反应效果。

[0003]有鉴于此，本实用新型提供一种三氯氢硅合成炉气体导流装置，主要目的在于改善氯化氢气体在合成炉中的分布，增加氯化氢和硅粉的反应时间，改善反应效果。 [0004]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0005]本实用新型的实施例提供一种三氯氢硅合成炉气体导流装置，包括:旋流机构； [0006]所述旋流机构为圆形；所述旋流机构包括多个扇形构件；多个所述扇形构件沿顺时针或逆时针方向依次设置；相邻的所述扇形构件之间固定连接；所述扇形构件包括：多个导流板一；所述导流板一相互平行地间隔设置，将所述扇形构件分隔成多个相互平行的倾斜气流通道；所述导流板一沿所述扇形构件的径向设置。 [0007]进一步地，还包括：反射机构； [0008]所述反射机构为圆环形；所述反射机构套设在所述旋流机构的外侧，与所述旋流机构固定连接； [0009]所述反射机构包括多个扇环构件；多个所述扇环构件沿顺时针或逆时针方向依次设置；相邻的所述扇环构件之间固定连接；所述扇环构件包括多个导流板二；所述导流板二相互平行地间隔设置

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