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本实用新型公开了一种多晶硅尾气回收系统，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。本实用新型的主要技术方案为：一种多晶硅尾气回收系统，包括：分离罐，分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气；换热部件，第一氢气管道设置在第一尾气管道的外部，循环水管道设置在第二尾气管道的外部，冷冻水管道设置在第一液体管道的外部，氯硅烷管道设置在第一气体管道的外部，第一气体管道连接于第一液体管道，第一尾气管道连接于第二尾气管道，第二尾气管道连接于第一液体管道，第一液体管道连接于分离罐，第二液体管道连接于分离罐。本实用新型主要用于尾气热能回收。

[0003]有鉴于此，本实用新型实施例提供一种多晶硅尾气回收系统，主要目的是提供一种能够降低能源消耗的多晶硅尾气回收系统。 [0004]为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案： [0005]本实用新型实施例提供了一种多晶硅尾气回收系统，该系统包括： [0006]分离罐，所述分离罐用于分离氯硅烷液体和氢气； [0007]换热部件，所述换热部件包括氢气换热器、循环水换热器、冷冻水换热器和氯硅烷换热器，所述氢气换热器包括第一尾气管道和第一氢气管道，所述第一氢气管道设置在所述第一尾气管道的外部，所述循环水换热器包括第二尾气管道和循环水管道，所述循环水管道设置在所述第二尾气管道的外部，所述冷冻水换热器包括第一液体管道和冷冻水管道，所述冷冻水管道设置在所述第一液体管道的外部，所述氯硅烷换热器包括第一气体管道、第二液体管道和氯硅烷管道，所述氯硅烷管道设置在所述第一气体管道的外部，所述第一气体管道连接于所述第一液体管道，所述第一尾气管道连接于所述第二尾气管道，所述第二尾气管道连接于所述第一液体管道，所述第一液体管道连接于所述分离罐，所述第二液体管道连接于所述分离罐。

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