科创中国

物理

本申请公开了一种Fe‑Ni‑P合金电镀液、Fe‑Ni‑P合金镀层的电沉积方法及合金镀层，属于电子制造技术领域。该电镀液包括主盐、络合剂以及水，络合剂包括双络合剂，双络合剂包括柠檬酸和氨三乙酸，或柠檬酸和氨三乙酸盐，或柠檬酸盐和氨三乙酸，或柠檬酸盐和氨三乙酸盐；双络合剂中，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度与柠檬酸或柠檬酸盐的浓度之比为0.5～5；其中，柠檬酸或柠檬酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L，氨三乙酸或氨三乙酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L。本申请通过在电镀液中加入柠檬酸(盐)和氨三乙酸(盐)作为双络合剂，能够增加镀液的电化学极化程度，使制备的Fe‑Ni‑P合金镀层的矫顽力较低，镀层表面光亮、组织细致，可应用于微电子领域以及半导体功能器件等领域。

1.一种Fe-Ni-P合金电镀液，包括主盐、络合剂以及水，其特征在于，所述络合剂包括双络合剂，所述双络合剂包括柠檬酸和氨三乙酸，或所述柠檬酸和氨三乙酸盐，或柠檬酸盐和所述氨三乙酸，或所述柠檬酸盐和所述氨三乙酸盐；所述双络合剂中，所述氨三乙酸或所述氨三乙酸盐的浓度与所述柠檬酸或所述柠檬酸盐的浓度之比为0.5～5；其中，所述柠檬酸或柠檬酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L，所述氨三乙酸或所述氨三乙酸盐的浓度为0.01～0.5mol/L。 2.根据权利要求1所述的Fe-Ni-P合金电镀液，其特征在于，所述电镀液还包括稀土元素；其中，所述稀土元素包括稀土盐或稀土氧化物，所述稀土盐或稀土氧化物的浓度为0.25～0.4g/L；所述稀土元素为La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd和Tb中的一种或两种。 3.根据权利要求1或2所述的Fe-Ni-P合金电镀液，其特征在于，所述主盐包括亚铁盐、镍盐以及次亚磷酸盐；其中，所述亚铁盐的浓度为0.01～0.5mol/L，所述镍盐的浓度为0.01～0.5mol/L，所述次亚磷酸盐的浓度为0.01～0.3mol/L。

中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。

点击查看