成果介绍
本申请公开了一种利用CoFe2O4定向调控PMN‑PT薄膜生长取向的压电材料。PMN‑PT薄膜材料包括具有特定晶面取向的衬底、形成于衬底上的底电极层、形成于底电极层上的调控层、以及形成于调控层上的外延层,调控层为基于底电极层生长的CFO层,外延层为基于调控层生长的PMN‑PT层,PMN‑PT层的外延取向为[111];其制备方法为:选取晶面取向为[100]或[110]或[111]的STO基片作为衬底,在STO基片上生成SRO层,在SRO底电极层上生成CFO层,在CFO调控层上生成PMN‑PT层。本申请能够在不同衬底或不同取向的衬底上制备得到特定取向的PMN‑PT外延薄膜材料。
成果亮点
一种利用CoFe2O4定向调控PMN-PT薄膜生长取向的压电材料,其特征在于,包括:
衬底,所述衬底具有特定晶面取向;
底电极层,形成于所述衬底上;
调控层,形成于所述底电极层上,所述调控层为基于所述底电极层生长的CoFe2O4(CFO)层;
外延层,形成于所述调控层上,所述外延层为基于所述调控层生长的[(X)Pb(MgYNb1-Y)O3-(1-X)PbTiO3(X=***~***;Y=***~***)](PMN-PT)层;
所述衬底、所述底电极层、所述调控层以及所述外延层形成衬底/底电极层/CFO/PMN-PT外延结构,所述PMN-PT层的外延取向为[111]。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力,推动我国自主知识产权新工业的建立,成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统,由九个研究平台,国科大深圳先进技术学院,多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究,促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
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