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一种太赫兹片上集成芯片及其控制方法、片上集成系统

发布时间: 2023-11-09

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
电子信息技术
成果介绍
本发明提供了一种太赫兹片上集成芯片及其控制方法、片上集成系统。片上集成芯片包括：通过光栅耦合微结构将闲频光波耦合进非线性材料，产生太赫兹波；将太赫兹波和剩余的闲频光波沿着多层薄膜波导结构进行传输；太赫兹长周期光栅耦合结构将太赫兹波耦合到待测生物样本上；通过光学干涉结构臂探测太赫兹波是否与待测生物样本相互作用引起的光程差，实现待测生物样本对太赫兹波吸收特性的检测。本发明针对生物样本检测应用的太赫兹传感器难以高质量片上集成的问题，设计了一种集太赫兹产生、传输、调控、探测于一体的芯片结构，能够保证芯片上太赫兹非线性混频的高质量产生、高效率传输和抗干扰探测，缩短太赫兹生物检测中水作用距离。
成果亮点
.一种太赫兹片上集成芯片，其特征在于，包括如下， 产生单元，设置有光栅耦合微结构和非线性材料，用于通过所述光栅耦合微结构将闲频光波耦合进所述非线性材料，产生太赫兹波； 传输单元，设置有多层薄膜波导结构，用于将所述太赫兹波和剩余的闲频光波沿着所述多层薄膜波导结构进行传输； 调控单元，设置有太赫兹长周期光栅耦合结构，用于通过所述太赫兹长周期光栅耦合结构将所述太赫兹波耦合到待测生物样本上； 检测单元，设置有光学干涉结构臂，用于通过所述光学干涉结构臂探测所述太赫兹波是否与待测生物样本相互作用引起的光程差，实现所述待测生物样本对所述太赫兹波吸收特性的检测。
团队介绍
中国科学院深圳先进技术研究院提升了粤港地区及我国先进制造业和现代服务业的自主创新能力，推动我国自主知识产权新工业的建立，成为国际一流的工业研究院。 深圳先进院目前已初步构建了以科研为主的集科研、教育、产业、资本为一体的微型协同创新生AC态系统，由九个研究平台，国科大深圳先进技术学院，多个特色产业育成基地、多支产业发展基金、多个具有独立法人资质的新型专业科研机构等组成。开展先进技术研究，促进科技发展。信息、电子、通讯技术研究新材料、新能源技术研究高性能计算、自动化、精密机械研究生物医学与医疗仪器研究相关学历教育、博士后培养与学术交流。
成果资料
产业化落地方案
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