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本发明内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器属于微纳光电子技术领域；该压力传感器由基底层(1)、矩形金属层(2)、直波导(3)、等边三角形谐振腔(4)和椭圆形金属块(5)组成；所述基底层(1)位于最下端，矩形金属层(2)和直波导(3)依次紧挨设置，并紧贴于基底层(1)上方，所述等边三角形谐振腔(4)位于矩形金属层(2)上，椭圆形金属块(5)位于等边三角形谐振腔(4)上，圆心与等边三角形谐振腔(4)重心重合；本发明内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器具有结构简单，体积小，传感特性可调谐，灵敏度高的技术优势。

内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，由基底层、矩形金属层、直波导、等边三角形谐振腔和椭圆形金属块组成；所述基底层位于最下端，矩形金属层和直波导依次紧挨设置，并紧贴于基底层上方，所述等边三角形谐振腔位于矩形金属层上，椭圆形金属块位于等边三角形谐振腔上，圆心与等边三角形谐振腔重心重合。 上述内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，所述基底层选用硅材料，所述矩形金属层和椭圆形金属块选用银材料。 以上内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，所述矩形金属层的尺寸为1160nm×530nm×50nm，所述直波导的宽度w＝50nm，只有TM波在内部传播，所述等边三角形谐振腔的边长q＝484nm，所述椭圆形金属块的短轴a＝15nm，长轴b＝65nm，所述矩形金属层的上边缘到所述等边三角形谐振腔的距离c＝10nm，所述等边三角形谐振腔到所述直波导的距离g＝10nm。 以上内嵌椭圆的等边三角形谐振腔可调谐压力传感器，所述直波导和等边三角形谐振腔通过在矩形金属层上进行镂空操作实现；所述直波导内部填充空气；所述等边三角形谐振腔内部填充液晶。

黑龙江大学（Heilongjiang University），位于黑龙江省哈尔滨市，是黑龙江省人民政府和中华人民共和国教育部、国家国防科技工业局共建的省属综合性大学，黑龙江省“双一流”建设国内一流大学A类高校，入选国家卓越法律人才教育培养计划、中西部高校基础能力建设工程、特色重点学科项目、国家建设高水平大学公派研究生项目、中国政府奖学金来华留学生接收院校、全国深化创新创业教育改革示范高校、教育部来华留学示范基地，是世界翻译教育联盟、中俄新闻教育高校联盟、中俄综合性大学联盟、上海合作组织大学、“一带一路”智库合作联盟成员单位。

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