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极大规模集成电路平坦化工艺与材料

发布时间: 2022-09-20

来源: 试点城市（园区）

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
新材料技术
成果介绍
该项目受国家中长期科技发展规划重大02专项资助，研制出了多层铜布线系列碱性抛光液，拥有自主知识产权。经美国硅谷技术中心、台湾平坦化协会、中芯国际（北京）等研究机构和大生产线评估测试，dishing、erosion、粗糙度、一致性、抛光速率、电参数等多项参数达到或超过了国际上主流产品的水平。国家02专项办聘请国内20多名知名专家对该项目进行了实地测试与现场验收，对项目给予了充分肯定和高度评价，认为技术指标达到世界前列。项目应用领域为65nm及以下节点技术的多层铜布线晶圆 CMP抛光。
成果亮点
目前国际酸性抛光液年需求价值为人民币100亿元，且年增长量为5~7%。仅中芯国际（北京）一家公司就年需 2000 吨抛光液。验收专家组认为该项目的研发有利于打开国内市场，打破高端产品完全靠进口的局面，并可逐步打入国际市场。河北工业大学该项目团队被评为国家 02 重大专项2012年度优秀团队，在承担02重大专项的138个团队中，仅有5个团队获此殊荣。
团队介绍
河工大数字经济产业研究院联合石家庄高新区科技局筛选出141项河北工业大学技术成果（其中，先进制造领域27项，城市建设与现代交通领域13项，电子技术领域6项，环境保护与资源综合利用领域35项，生物与农业领域5项，新材料及其应用领域30项，新能源与高效节能领域18项，医药和医疗器械领域7项）编印成册，并发布于"冀科银创”河北科技金融服务平台，旨在为进一步深化与河北工业大学产学研合作，实现院校科技成果与企业需求精准对接，助力科技企业蓬勃发展。
成果资料