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一种碲锌镉单晶炉及碲锌镉单晶的生长工艺

发布时间: 2022-06-02

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式: 技术转让
成果类型: 发明专利
行业领域:
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍

一种碲锌镉单晶炉,包括炉体,炉体内设有石英安瓿,石英安瓿中设有氮化硼坩埚,炉体外部设有激磁线圈,石英安瓿下方设有导热装置,炉体相对于垂直方向倾斜3°‑15°。一种碲锌镉单晶的生长工艺,包括以下步骤:选用Cd1‑xZnxTe籽晶,x选自0.04‑0.2范围内,打磨后浸泡至溴‑甲醇溶液;选用Cd1‑xZnxTe多晶料,x为0.04,石英安瓿抽真空后密封;将炉体相对于垂直方向倾斜3°‑15°,石英安瓿下方设置有螺旋式氮气管路,炉体外安装有激磁线圈;晶体引晶;晶体生长:使炉体处于勾形磁场内,氮气初始流量为50mL/分钟,按0.1mL/分钟的速度增加流量;原位退火和冷却。通过该生长工艺得到的碲锌镉单晶晶格结构的完整性较佳、直径较大且单晶成品率较高,不仅改善了所得单晶的质量,而且经济效益较好。

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