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高转化率硅晶及薄膜复合型多结PIN太阳能电池及其制造方法

发布时间: 2022-05-12

来源: 科创项目库

基本信息

合作方式： 技术转让
成果类型： 发明专利
行业领域：
节能环保产业
成果介绍

本发明提出了高转化率硅晶及薄膜复合型多结PIN太阳能电池及其制造方法。所述硅晶及薄膜复合型多结结构可以从相关的六种材料中选用形成二结，三结，四结，五结，六结薄膜太阳能电池。本发明采用双面抛光工艺，离子注入工艺，等离子增强型化学气相沉积工艺，激光结晶工艺，等离子掺杂工艺和PECVD过度层工艺来改善各层之间的界面性能，如降低各叠层之间的界面电阻和增强薄膜材料结晶性能，并用氢化处理工艺来保持各层材料性能的稳定和改善透明导电薄膜材料和界面的透光率和导电性。电池转换效率可达25％-30％，并具有较好的稳定性。

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