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硅片生产过程水资源利用与节约项目

发布时间: 2021-09-03

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 合作开发
成果类型: 新技术
行业领域:
新一代信息技术产业,信息传输、软件和信息技术服务业
成果介绍

  项目基于企业切片工序现有设备、工艺为基础,将切片机、脱胶机、插片清洗一体机进行一定的技术改造以及优化切片、脱胶、插片用水工艺,降低切片车间用水量,自主研发导入晶托自动冲洗设备,车间废水循环利用改造,提高废水二次利用率。项目导入后,脱胶机用水量降低0.05吨/万片;清洗用水量降低0.27吨/万片;插片机工艺验证用水量降低0.36吨/万片;车间清洗用水50%以上插片二次重复使用。

成果亮点
团队介绍
成果资料