科创中国
直拉单晶硅制备热场模拟与自适应智能调控
发布时间: 2021-06-17
来源: 科创项目库
基本信息
合作方式：
合作开发
成果类型：
新技术
行业领域：
新能源产业
成果介绍
直拉单晶硅生长，合理的热场控制对提升晶体质量、降低生产成本有非常重要的意义。国内大多数的单晶硅生产企业由于要求生产过程高度稳定性，高温及炉体机构特殊性，无法实施监控参数变化规律，对炉体内的温度场/流场分布及变化规律、热量交换/物质传输、晶体及坩埚应力场等无法掌握，造成工艺及设备改进有一定盲目性。本科技成果实现了单晶硅直拉制备过程中多相、多场数值耦合模拟，模拟直拉单晶硅制备过程中2D/3D温度场、流场，反溯指导单晶硅直拉工艺过程，使得晶体生长速度不低于3.2mm/min。
成果亮点
团队介绍
成果资料
产业化落地方案
成果综合评价报告
评价单位：- (-) 评价时间：2022-10-25
李普博
宁夏大学
副教授
综合评价
高品质单晶硅的规模化生产，属于高精尖行业，技术难度较大。该成果的技术可实现单晶硅直拉制备过程中多相、多场数值耦合模拟，反溯指导单晶硅直拉工艺过程，具有较好的技术水平和应用前景，促进企业技术升级，并且可占据市场话语权。其转化前景和经济效益收益较好。
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