需求解析

技术需求基本信息

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万元

技术需求解析

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技术研发指南

为全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,按照省委省政府有关决策部署,进一步加强前沿性、引领性和关键共性技术攻关,提升科技创新支撑引领作用。关于为社会发展领域重点研发计划项目申报做贡献。

研究高松装密度、高纯度球形 Y2O3 粉体制备工艺,研究喷雾造粒工艺及研制专用装备,研究高致密度Y2O3 涂层优化设计与制备工艺,开展高性能 Y2O3 粉末与喷涂技术之间的工艺适配性研究。

1、突破刻蚀机工艺腔内表面耐大功率等离子体侵蚀的关键技术,产品指标参数要求:Y2O3 粉体:纯度≥99.95%,松装密度≥1.75g/cm3,粉体粒度 D50<35μm;

2、Y2O3涂层,孔隙率 3~5%,硬度 400~450HV,结合强度 15~25MPa,表面粗糙度 2~6μm。

3、高能 CF4/O2等离子轰击试验涂层刻蚀速率为≤6nm/min。

4、在至少 1 个工程化项目中实现应用示范。

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