需求解析

技术需求基本信息

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技术研发指南

氮化铝陶瓷是以氮化铝(AIN)为主晶相的陶瓷。AIN晶体以〔AIN4〕四面体为结构单元共价键化合物,具有纤锌矿型结构,属六方晶系。化学组成 AI 65.81%N 34.19%,比重3.261g/cm3,白色或灰白色,单晶无色透明,常压下的升华分解温度为2450℃。为一种高温耐热材料。热膨胀系数(4.0-6.0)X10/℃。多晶AIN热导率达260W/(m.k),比氧化铝高5-8倍,所以耐热冲击好,能耐2200℃的极热是理想的大规模集成电路散热基板和封装材料此外,氮化铝具有不受铝液和其它熔融金属及砷化镓侵蚀的特性,特别是对熔融铝液具有极好的耐侵蚀性。

        现市场需求量大,种类丰富,要求较高。所以对后加工工序的挑战逐渐增大,尺寸公差要求高,加工工艺复杂,表面洁净度高,成品率低。以上四方面影响公司的发展,加大的成本,耗时耗力。加工处于氮化铝制备的最后一个工序,影响成品率的最大的一个因素,这也是我急需优化升级的项目。

后加工成品率的提升,超薄研磨片的缺陷的:

1.隐裂占比大、缺角、碎片

2.厚度公差控制差。

后加工成品率提升至95%

1.隐裂、缺角、碎片的占比降低到1~2%

2.厚度公差起到控制,无误差

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