需求解析

技术需求基本信息

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技术研发指南

在半导体材料领域,高纯度电子气体作为是集成电路制造的“血液”,是国产代替重要环节,也是急需国产化的产品。高纯度气体纯化设备决定了集成电路的性能、集成度、成品率。纯化设备若不合格会导致产品严重缺陷,或整条生产线被污染乃至全面瘫痪。进口高端装备的研发与国产化替代迫在眉睫,关键技术、核心装备、核心材料均需要自主创新研究。高纯度气体提纯和生产的关键技术、核心装备、关键材料,以及技术的创新升级与智能化,对半导体行业的发展和芯片的性能有重要的作用,是生产高端芯片、核心关键零件的基础工艺条件。采用自主研发技术替代进口,实现气体纯化关键技术和核心材料的自主创新和国产化,对我国半导体等行业由重要意义。

1、引领攻克核心技术,帮助企业解决技术难题和瓶颈,发挥专家的统领作用,依托项目,制定规划,重点攻关,使企业掌握核心关键技术,走在行业的技术最前沿。

2、及时掌握行业关键信息,优化发展战略,使企业在行业竞争中占据主导地位

具体要求:

基于自主创新研发生产半导体、光伏光纤、LED面板及化工、医药行业所用的高纯度气体纯化生产设备、关键技术、核心材料,使其提纯纯度达到9N级(国际最高标准版)或者更高,用来替代国外进口气源或者生产装备,填补国内空白。

1、人才培养及技术服务,通过技术沟通交流,开展人才培养及技术培训服务,技术咨询与技术对标等;

2、产品与技术优化,针对技术与产品难题,协同攻关,开展仿真计算与实验研究,优化设计方法与产品技术;

3、新技术与新产品,针对发展方向及产业关键技术制定计划,开发新技术,并开展关键技术的联合攻关。

具体要求:

气体纯度≥9N;生产工艺国产化;主体装备国产化;关键核心吸附材料国产化;装备和材料的使用寿命和次数达到国际先进水平。

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