在超厚大尺寸高均匀性CVD硒化锌规模化生产技术的研发过程中，团队基于硒化锌沉积过程中对化学气相沉积系统的高可靠性要求，采用化学气相沉积方法生长，自主创新了大型化学气相沉积炉系统，实现了数字集成自动化控制，解决了大规模生产难题。针对热硒化锌材料应力大的问题，团队创新引入原位沉积消除应力技术，实现了其超厚大尺寸硒化锌的生长。针对异形件加工难题，创新设计吸附式和高转速加工工艺，并开发非粘结性加工和表面精密处理工艺，获得了高均匀性硒化锌晶片。该成果形成了具有自主知识产权的硒化锌制备成套装备及技术，获得发明专利7项、实用新型专利20项。已获评2022年安徽省科学技术进步奖一等奖。
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