针对大面积薄膜制造对精度与效率的需求，团队自主研制了基于空间隔离的高效原子层沉积方法，解决了高沉积污染、沉积均匀性和可靠性差等挑战。提出动态微间隙前驱体隔离理论模型，实现了最高沉积速率100nm/min；设计的多股射流式匀压喷头，实现米级幅宽喷头拓展，确保薄膜不均匀性低于1.3%；突破自整定运动曲线、模型预测闭环温控等一系列关键控制核心技术，建立了拥有自主知识产权的米级幅宽薄膜制备工艺和装备体系。技术成功应用于钙钛矿太阳能电池、锂电池和柔性显示屏的研制与批量生产。在钙钛矿太阳能电池中，实现了高效均匀的薄膜沉积，提高了光电转换效率和稳定性；在锂电池领域，优化了电极材料的表面特性，提升了能量密度和循环寿命；在柔性显示屏生产中，确保了薄膜的精确控制，增强了显示效果和柔韧性。
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