本技术涉及高精度硅谐振压力传感器与高温硅压阻压力传感器两大系列产品。其中，高精度硅谐振压力传感器采用了目前最先进的谐振检测技术,通过检测因应力变化而产生的频率的变化,实现温度范围-55℃~ 85℃,全量程综合精度0.01%FS的产品研制,处于国内领先水平。高温硅压阻压力传感器采用基于SOI工艺的惠斯通电桥技术方案,通过检测电阻阻值变化即可实现压力的测量。公司已具备从芯片设计、制作到整表级封装、测试的全流程能力,目前已实现耐温200℃的多量程谱系产品。
硅谐振压力传感器目前已广泛应用在航空领域的大气数据系统、备份仪表系统、座舱环控系统等，涉及多个主力机型。在大气数据系统、备份仪表系统中，该传感器用于测量高度、空速、攻角和侧滑角等信息。在座舱环控系统中,该传感器可监测座舱压力、座舱余压和座舱高度变化率等环控参数;在大气数据仿真系统中,该传感器作为压力基准,可对其他压力设备、传感器进行修正,用户涉及太航压测等。另外,该传感器正在气象监测、流程工业、海洋探测等民用领域积极推广试用,助力民用高精度压力测量领域的自主可控进程。硅压阻压力传感器目前已在航空液压测量、弹射救生领域实现有效占位。在液压测量领域,该传感器用于监测舵机中作动器液压油的压力;在弹射救生领域,该传感器用于测量弹射座椅、降落伞的高度信息,应用场景十分广泛。
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