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大行程超精密对准装置

发布时间:2022-09-30

基本信息

  • 合作方式: 技术许可
  • 成果类型:
价格 双方协商

行业领域

电子信息技术,微电子技术

成果描述

本项目依托于我们在光刻机制造领域相关核心技术的经验和积 累,自主研发了具有完全自主知识产权的大行程超精密对准装置。掌 握了大量程超精密测量,大行程柔性操控平台设计、精密控制与补偿、 精密系统标定与集成等核心技术。突破了国内现有精密检测和精密驱 动技术的极限,实现了2nm 以内动态跟踪精度,1nm 以内重复定位 精度(亚纳米分辨率)、50Hz 以上动态跟踪带宽(系统带宽远高于 50Hz),行程近百微米。 系统样机已在相关工程实践中反复验证(六级成熟度),打破了 现有技术壁垒。该样机成本可控,实现条件不苛刻,易满足成本可控 的接口定制化需求,并且精度和行程还可进一步大幅度拓展。 本项目的开展将对我国该领域突破技术壁垒,保障尖端装备关键 技术自主可控,提升国际竞争力具有重要作用。在高端装备关键技术 实现自主可控和国产化替代的大趋势下,该技术市场需求巨大。

成果资料