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新能源及节能技术

本发明属于气体污染物处理技术领域，主要是一种无害化处理硫酰氟气体的方法，步骤如下：采用等离子体反应器作为反应器，在两电极之间由二端的气体分布挡板和中间的多孔挡板分隔成二个填充物腔体；含有硫酰氟的气体从进气口进入等离子体反应器，在非平衡等离子体的作用下，含有硫酰氟的气体与放电产生的高能电子及活性粒子发生氧化、降解反应，并与等离子体反应器内的二级填充物反应吸附